能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧

光氧催化凈化原理：

利用高能高臭氧 UV 紫外線光束(發出的波長主要為 170nm 及 184。9nm，能量為 742kj/mol 和 647kj/mol)照射惡臭氣體，列解有機(惡臭)廢氣如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC 類，苯、甲苯、二甲苯等分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如 CO2、H20 等。高能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。

UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。燈管兩邊的催化層(催化劑：納米二氧化鈦)在受到紫外線光照射時生成化學活潑性很強的超氧化物陰離子自由基和氫氧自由基，攻擊有機物，達到降解有機物的作用。二氧化鈦屬于非溶出型材料，在徹底分解有機污染物和殺滅菌的同時，自身不分解、不溶出，光催化作用持久，并具有持久的殺菌、降解污染物效果。惡臭氣體利用排風設備輸入到本凈化設備后，凈化設備運用高能紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

低溫離子原理：低溫等離子有機廢氣凈化模塊采用了獨特的 吸附-分解-碳化工藝技術設計，采用標準模塊設計等優點，是一種干法處理有機、煙霧廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，不產生二次污染，更換及維護保養方便(可在設備正常運行情況下更換維護操作)。