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實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)的功能

滿(mǎn)足不同實(shí)驗(yàn)的要求和安全性，雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)切換功能，并沒(méi)有低壓報(bào)警裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣壓、濃度檢測(cè)報(bào)警和排確保客戶(hù)正常用氣和生命財(cái)產(chǎn)安全。

氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

鋼瓶(氣體壓縮機(jī))、鋼瓶國(guó)定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動(dòng)開(kāi)關(guān)裝置、**減壓器、二級(jí)減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置等。

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實(shí)心墻，安裝防爆門(mén)，設(shè)置防爆裔

(2)室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能:

(3)應(yīng)安裝排氣扇，隨時(shí)保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

2、供氣系統(tǒng)需要兩級(jí)減壓供氣。供氣匯流排減壓，氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室。二級(jí)減壓器安裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，便于對(duì)通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制，用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級(jí)減壓器**調(diào)節(jié)壓力(.01兆怕，獲得穩(wěn)定的壓力，可以滿(mǎn)足儀器對(duì)不同使用壓力的要求，**減壓器和二級(jí)減壓器均配有壓力表，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力.

3，采用雙側(cè)匯流排半自動(dòng)方式連續(xù)供氣，實(shí)驗(yàn)室使用要求，更換氣瓶時(shí)，可以通過(guò)安裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄漏檢測(cè)和報(bào)警裝置，并安裝陽(yáng)火器，以防止明火回流。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安全距離.

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來(lái)說(shuō)，要求管道不要太長(zhǎng)，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶(hù)中，讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動(dòng)，避免出現(xiàn)”死區(qū)，根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必憑時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來(lái)說(shuō)，控制閥、過(guò)減器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在分析儀器等，進(jìn)入潔凈車(chē)間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于

統(tǒng)一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例，半號(hào)體工業(yè)僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而目由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程和精細(xì)加工，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術(shù)，對(duì)氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格，10-6 ppm級(jí))不能滿(mǎn)足要求，需要達(dá)到10-9 (ppb級(jí))其至10-12pt級(jí))，粉塵粒經(jīng)要控制在0.05-0.01 um。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿(mǎn)足高純度和超高純度氣體的要求。

3,管道材料的特性對(duì)于輸送高純氣體的管道，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性.供氣系統(tǒng)管道安裝要求

1、管道教設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)沒(méi)有要求時(shí)，千氣管道應(yīng)水平安裝 輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003，城度應(yīng)期向冷疑水收集器2.管道采用焊接連接，鎢極盒礦煤打底，手工電弧焊看蓋。不銹鋼管焊接或點(diǎn)煤應(yīng)采取充氯保護(hù)措施,3.氣體管道和設(shè)備，閥門(mén)和其他附性應(yīng)通過(guò)法蘭或想紋連接，慢紋接頭的填料必須是娶四氧了,烯演膜.

4、氣體管道穿過(guò)潔凈室時(shí)，法蘭墊片或擺紋填料的外露部分，必須清理干凈:5,氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無(wú)縫鋼管時(shí)，必須采用集中安裝方式，安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合，每氣保護(hù)，填充壓力不小于0.2兆帕6對(duì)干有接地要滅的燃?xì)夤艿溃ㄌm之間必須是接導(dǎo)電剛線(xiàn)，導(dǎo)休截面和煤接塔接長(zhǎng)度應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，俱與必須定固可靠

供氣管道安裝注意事項(xiàng)1.所有氣體管道由高質(zhì)量、退火和無(wú)縫不銹鋼管組成，銅管僅用于輸氣管道的末端，對(duì)氣體純度的要求不太嚴(yán)格。(例如通風(fēng)櫥)。2、氣路安裝管道不得數(shù)設(shè)電纜和導(dǎo)電線(xiàn)。

3，如7快，要要與其他氣體分開(kāi)到入，復(fù)與營(yíng)道與其他可燃?xì)怏w管道平行數(shù)設(shè)時(shí)，其間距不得小于05M交叉數(shù)設(shè)時(shí)間間隔不得小于025米，分層教設(shè)時(shí)營(yíng)氣管道應(yīng)位于上方。

4壓縮空氣有凈化裝置，用于過(guò)演管道上的雜質(zhì)和水分。凈化裝置需要并聯(lián)連接，并通過(guò)單獨(dú)的閥門(mén)分開(kāi)，以便于過(guò)演裝置的維護(hù)5.高純氣體管道的連接采用無(wú)縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門(mén)或調(diào)節(jié)裝置時(shí)使用。

6、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室應(yīng)有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表,7通向工作臺(tái)的氣體管道應(yīng)安裝單獨(dú)的控制闊。工作臺(tái)應(yīng)設(shè)置均勻排放各種氣體的控制閥。建議在氨氣管道前安裝一個(gè)氣體凈化裝置8、每廈15米左右，氣體管道需妻一個(gè)支架。此外，根據(jù)氣體管道的查曲半徑，設(shè)置合活的支架位置，必須支持所有查曲。做氣管道安裝管道的所有支架均應(yīng)鍍鋅防腐處理。

實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局