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湖南晟鐳新材料科技有限公司
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高純鎢濺射陽(yáng)極靶材平面鎢靶旋轉(zhuǎn)鎢靶

2024年02月27日舉報(bào)編輯打印
高純鎢濺射陽(yáng)極靶材平面鎢靶旋轉(zhuǎn)鎢靶
價(jià)格: 面議
起批量: 1 件起批
區(qū)域: 湖南 長(zhǎng)沙 望城區(qū)
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鎢靶材  鎢濺射靶材  鎢平面濺射靶材  
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詳細(xì)介紹

鎢靶材描述

我們公司專業(yè)生產(chǎn)各種純鎢靶材,包括平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材,涵蓋了鎢濺射靶材和鎢陽(yáng)極靶材。

鎢靶生產(chǎn)工藝過程:混料后裝入模具,進(jìn)行壓制,然后燒結(jié),毛坯加工,熱處理,**加工成符合客戶要求尺寸和表面的成品。

純度、密度和微觀結(jié)構(gòu)對(duì)純鎢靶材具有決定性影響。我們能夠提供至少99.95%純度且符合所需雜質(zhì)含量的鎢靶材。高密度使其具有特別高的導(dǎo)電性,在濺射速度方面節(jié)省時(shí)間。均勻的微觀結(jié)構(gòu)在濺射過程中將具有均勻的侵蝕。

我們能夠提供一套完整的物理性能測(cè)試設(shè)備,如密度、硬度、表面粗糙度等。因此,在使用渦流測(cè)試儀和超聲波設(shè)備時(shí),可以嚴(yán)格檢查產(chǎn)品的可能內(nèi)部損傷,如孔隙和裂紋,以確保鎢靶材的高質(zhì)量。

鎢靶材特點(diǎn)

鎢濺射靶材的特點(diǎn)包括:

1. 高純度:我們的鎢濺射靶材具有至少99.95%的高純度,甚至可以到99.99%,可滿足嚴(yán)格的半導(dǎo)體涂層應(yīng)用要求。

2. 高密度和均勻的微觀結(jié)構(gòu):鎢靶相對(duì)密度可以達(dá)到99.5%歲以上,高密度使其具有卓越的導(dǎo)電性,提供出色的濺射速度。均勻的微觀結(jié)構(gòu)確保在濺射過程中具有均勻的侵蝕,有助于維持穩(wěn)定的性能。

3. 完善的物理性能測(cè)試:我們提供一套完整的測(cè)試設(shè)備,包括密度、硬度、表面粗糙度等測(cè)試,以確保產(chǎn)品質(zhì)量并檢查可能的內(nèi)部損傷,如孔隙和裂紋。

鎢靶材的使用原理:

鎢濺射靶材主要用于磁控濺射涂層,這是一種新型的物理氣相沉積(PVD)方法。在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子, 靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面, 以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。

鎢靶材應(yīng)用領(lǐng)域

鎢靶材主要是用來(lái)濺射形成鎢層,而鎢層是 TFT-LCD 屏幕薄膜晶體管的組成部分。當(dāng)需要大屏幕格式、極高圖像清晰度并優(yōu)化對(duì)比度時(shí),就會(huì)用到它們。鎢靶也用于微電子工業(yè),例如用于在頻率濾波器(聲表面波濾波器 (SAW)、體聲波濾波器 (BAW))中形成涂層。鎢靶的其他應(yīng)用包括由氮化鎢制成的擴(kuò)散阻擋層、微電子部件中的導(dǎo)體軌道以及由氧化鎢制成的反應(yīng)濺射透明層,用于 OLED 顯示器和電化學(xué)應(yīng)用。

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