熱式催化燃燒設備運用電催化氧化工藝，集低溫活性炭體、微波放電，在實際使用中實現廢氣的處理是復雜的過程，整個過程在短時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E，在短時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量較小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成沒有傷害無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，全部除掉不同范疇的廢氣化合物除去的空間。