工藝卡點特性

1.提高產品成品率：硅片裝夾牢固，減少掉片現象，減少氮化硅的色差片，提高了成品率。

2.工藝點鉤點小，新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是1.472mm2，新的菱形工藝點鉤點面積是0.619mm2。

3.使用壽命長。

4.采用SGL高純石墨，純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。

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