產品功能：
 清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉化為氣相被排出。
           如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
           如：PDMS鍵合，粘接前的預處理，涂裝前的預處理，印刷前的預處理。
蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到**濺射，表面材料被剝離，轉變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。
            如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應，前驅單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應，形成聚合物層。
           如：疏水層，親水層，保護/阻隔層，干潤滑層，疏油層。
 
具體應用： 去除部件封裝（半導體）
支架（牙醫(yī)）
心臟起搏器
傳感器
精密驅動間
車大燈反射鏡
攝像頭
**器械
 
主要技術參數(shù)：
1.半自動控制
2.根據(jù)工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量等參數(shù)
3.雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量計控制
4.反應艙為高硼硅玻璃腔體，直徑130mm, 長300 mm ，容積約為5L
5.發(fā)生器頻率40KHz,功率0~200W
6.反射波自動調節(jié)
7.電極材質為鋁
8.運行模式為手動
9.配套真空泵的排氣能力為4m3/Hour，配有強制進氣閥，國產飛越真空泵
10*配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設定壓力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.電源電壓：單相AC230V 16A