設備特點
適用厚膜電路調阻，電子模塊功能修調
高精度，高速度，高可靠性
訂制的**激光器，切口質量高
直線電機XY平臺分步重復
消色差成像技術，圖像識別功能
矩陣測量系統，配備IEEE-488(GPIB)接口
強大軟件編程功能，滿足各種不同應用
主要技術參數
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激光系統 |
型號規格 |
LT7130/G/U |
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激光波長 |
1064nm/532nm/355nm |
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激光功率 |
8W/5W/3W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm/18μm/10μm |
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對焦方式 |
自動，計算機程序控制 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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激光束定位系統 |
激光束運動范圍 |
60mm X 60mm |
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運動分辨率 |
0.76μm |
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重復定位精度 |
±2.5μm |
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分步重復運動系統 |
運動方式 |
平面電機或直線電機 |
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運動范圍 |
290mm*260mm |
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重復定位精度 |
±1μm |
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運動速度（空載） |
900mm/s |
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測量系統 |
電阻測量方式 |
四線制測量或二線制測量 |
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電阻測量精度 |
中阻 ± 0.02% |
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電阻測量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
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測量速度 |
25μs/次 |
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零點及滿程誤差校正 |
自動校正 |
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探針定義 |
可編程任意設定 |
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探針板運動 |
自動、計算機程序控制 |
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探針板規格 |
標準P48 |
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