效準(zhǔn)工作臺(tái)：

 IKO直接驅(qū)動(dòng)型校準(zhǔn)工作臺(tái)SA???DE的直線導(dǎo)向部使用IKO自潤滑直線導(dǎo)軌L，旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向部使用IKO交叉滾子軸承，驅(qū)動(dòng)部采用直接驅(qū)

動(dòng)方式，是一款低斷面緊湊型做XYθ運(yùn)動(dòng)的校準(zhǔn)工作臺(tái)。校準(zhǔn)工作臺(tái)SA???DE通過高分解能線性光柵尺搭配全閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)了沒有后移間隙的高精度定位。

很適合于用作半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備等利用圖像處理進(jìn)行校準(zhǔn)處理以及要求清潔環(huán)境的測(cè)量儀器和檢驗(yàn)設(shè)備等的定位機(jī)構(gòu)。

直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：

直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的X、Y軸有0.1μm和0.5μm兩種分解能，可根據(jù)用途選擇。校準(zhǔn)工作臺(tái)SA???DE的直線導(dǎo)向部使用直線導(dǎo)軌L和將直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的可動(dòng)臺(tái)做雙軸正交組合的XY軸，

旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向部的θ軸采用交叉滾子軸承和直接驅(qū)動(dòng)方式，是一款低斷面緊湊型做XYθ運(yùn)動(dòng)的校準(zhǔn)工作臺(tái)。

通過高分解能線性編碼器搭配全閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)了沒有后移間隙的高精度定位。

而且，直線移動(dòng)用的X軸可動(dòng)工作臺(tái)和旋轉(zhuǎn)定位部θ軸轉(zhuǎn)臺(tái)均已標(biāo)準(zhǔn)化，可方便地進(jìn)行X軸和θ軸的組合或架構(gòu)XY

軸的校準(zhǔn)工作臺(tái)。