石墨舟 就是石墨模具。石墨模具本身是一種載體，可以把我們需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫?zé)Y(jié)成型。石墨模具是選用人造石墨經(jīng)機(jī)械加工而成的。所以石墨模具有時(shí)成為石墨舟，也有稱為石墨船。
     PECVD石墨舟
     1.采用了消除“彩片”的生產(chǎn)技術(shù)，長期工藝生產(chǎn)中不產(chǎn)生“彩片”；
     2.采用德國西格里進(jìn)口高純石墨材料制作，雜質(zhì)含量低，強(qiáng)度高；
     3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷，防腐蝕性能強(qiáng)，不易爆裂；
     4.采用了精密加工設(shè)備，聘請(qǐng)了技術(shù)人員，了每個(gè)配件的精度；
     5.能匹配CT、捷佳偉創(chuàng)、紅太陽等設(shè)備的爐子。
     石墨螺絲螺母，在工業(yè)生產(chǎn)中，適應(yīng)高溫環(huán)境，石墨材料非常耐高溫，在高溫行業(yè)應(yīng)用非常廣泛。
     工藝卡點(diǎn)特性
     1.提高產(chǎn)品成品率：硅片裝夾牢固，減少掉片現(xiàn)象，減少氮化硅的色差片，提高了成品率。
     2.工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)小，新的圓形工藝點(diǎn)在硅片上的鉤點(diǎn)面積是1.472mm2，新的菱形工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)面積是0.619mm2。
     3.使用壽命長。
     4.采用SGL高純石墨，純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。