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廢氣排放濃度達(dá)到江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》DB32/3747-2020 和《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297-1996中的要求。主要設(shè)備包含：一次側(cè)風(fēng)機(jī)、二次風(fēng)機(jī)、過濾器、濃縮轉(zhuǎn)輪、脫附風(fēng)機(jī)、TNV、換熱器、風(fēng)管、控制系統(tǒng)、煙囪等。
廢氣風(fēng)量和濃度數(shù)據(jù)
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序號(hào) |
廢氣源 |
風(fēng)量 |
溫度 |
相對(duì)濕度 |
濃度 |
處理方式 |
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m3/h |
℃ |
% |
mg/m3 |
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1 |
Module A |
80000 |
~25 |
~60 |
200 |
廢氣濃度為企業(yè)提供參考濃度，后期可進(jìn)行檢測(cè)，廢氣經(jīng)過轉(zhuǎn)輪濃縮后再進(jìn)入TO進(jìn)行處理 |
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2 |
module B+C |
80000 |
~25 |
~60 |
200 |
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3 |
合計(jì) |
160000 |
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1.1.1 廢氣成分及性質(zhì)
根據(jù)企業(yè)提供的廢氣參數(shù)計(jì)算得出廢氣濃度及廢氣成分占比如下：
表 廢氣成分占比
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廢氣成分 |
各成分占比 |
各成分濃度（mg/m3） |
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異丙醇 |
68% |
136 |
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2-氨基乙醇 |
8% |
16 |
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乙二醇 |
7% |
14 |
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異丙醇胺 |
7% |
14 |
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羥胺 |
7% |
14 |
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芳香族溶劑 |
2% |
4 |
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乙酸乙酯 |
1% |
2 |
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合計(jì) |
100.0% |
200 |
1.1.1 標(biāo)準(zhǔn)
1、TNV系統(tǒng)熱回收能力≥70%；
2、轉(zhuǎn)輪處理效率≥99%；
3、焚燒系統(tǒng)處理效率＞99%；
4、在正常生產(chǎn)時(shí)，**終整體系統(tǒng)處理效率≥98%；
5、系統(tǒng)處理后廢氣排放濃度VOC≤30mg/m3, 異丙醇≤20 mg/m3；
6.廢氣處理后排放濃度執(zhí)行 DB32 3747-2020 江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》，如下表：
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污染物名稱 |
苯 |
苯系物 |
異丙醇 |
非甲烷總烴 |
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**允許排放濃度mg/m3 |
1 |
25 |
40 |
≤50 |
1.1 廢氣處理工藝
1.1.1 工藝流程介紹
對(duì)于企業(yè)生產(chǎn)車間產(chǎn)生的廢氣采用“過濾+濃縮脫附+氧化燃燒”的處理工藝。低濃度的有機(jī)廢氣先經(jīng)過二級(jí)過濾，然后采用沸石做吸附濃縮及脫附處理，吸附后的氣體可以直接排到大氣，沸石在吸附大量的有機(jī)物后需經(jīng)過高溫氣體進(jìn)行脫附處理，脫附后再進(jìn)入TO做氧化處理。TO凈化了含有碳?xì)浠衔锏墓I(yè)排氣，這些污染物包含了可揮發(fā)性有機(jī)成分（VOCs）以及各種類型的有害污染物（HAPs），TO利用了熱氧化以及熱回收相結(jié)合的方法高效的去除了污染物，同時(shí)也**化的節(jié)省了操作成本。
本項(xiàng)目共有六套廢氣處理系統(tǒng)，單套風(fēng)量 40000m3/h。每三套一組分別與原系統(tǒng)銜接。廢氣經(jīng)過濃縮轉(zhuǎn)輪處理再進(jìn)入TO燃燒處理，處理達(dá)標(biāo)后從 TO排出，由于廢氣排出溫度為~300℃，因此采用余熱回收系統(tǒng)進(jìn)行熱量回收利用，廢氣處理工藝流程圖如下所示：
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