本公司百級無塵烤箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
· 在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到 Class 100;
· 全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
· 采平面水平由后向前送風后經 H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率 99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門);
· 強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能 P.I.D 溫控系統,得到**溫度控制精度