（1）吸附過程：由于固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引力或化學鍵力，當此固體表面與氣體接觸時，就能吸引氣體分子，使其濃聚并保持在固體表面，此現象稱為吸附。利用固體表面的吸附能力，使廢氣與大表面的多孔性固體物質相接觸，廢氣中的污染物被吸附在固體表面上，使其與氣體混合物分離，達到凈化目的。其實質是一個吸附濃縮的過程。

（2）脫附+催化燃燒：活性炭接近飽和后，對活性炭進行脫附再生（熱空氣脫附），脫附產生高濃度有機廢氣進行催化燃燒使得廢氣得到徹底凈化。根據廢氣性質和回用價值性，也可使用蒸汽脫附，再經過冷凝器冷凝成液體然后分離，分離回收有機溶劑。