有機廢氣在風機作用下，*先經特殊結構的陶瓷蓄熱體，氣體溫度逐漸升高至250～300℃左右進入催化劑床層。在此溫度下，廢氣里的有機物在催化劑的作 用下被氧化成二氧化碳和水，凈化后的高溫氣體進入蓄熱陶瓷體，絕大部分的熱量被蓄熱體吸收（95%以上），溫度降至接近進口的溫度后經煙筒排放。

一般情況RCO設備由三個蓄熱室構成，廢氣在PLC程序的控制下，循環執行以下的操作流程：進入已蓄熱的蓄熱室，使廢氣得到預熱；然后進入氧化室，有機物被凈化； 凈化后的高溫氣體由未蓄熱的蓄熱室吸熱后排放，一部分處理后的氣體被引回到第三室，吹掃其中殘留的未處理廢氣；在污染物去除效率要求不高的情況下，為節省資金，也可設計成兩室結構；

催化燃燒所用的催化劑為含有貴金屬和金屬氧化物組成的物質。例如家用負載Pd或稀土化合物的催化燃氣灶，可減少尾氣中CO含量，提高熱效率。負載0.2%pt的氧化鋁催化劑，在500℃下，可將大多數有機化合物燃燒，脫臭凈化到化學位移σ=1以下。催化燃燒為無焰燃燒，因此適用于安全性要求高的場合，如以H2和O2為原料的燃料電池、用汽油或酒精為原料的懷爐(催化劑為浸Pt石棉)等。如消除化工廠NOx的煙霧，可加燃料到煙霧中，通過負載型鉑和鈀催化劑，催化燃燒使NOx轉化為N2氣。 采用適當的催化劑，使用有害氣體中的可燃物質在較低的溫度下分解、氧化的燃燒方法。